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氧化鋁陶瓷材料，鑒于其在高頻應(yīng)用場景下展現(xiàn)出的出色電氣特性——低介電損耗,、高體積電阻率,、出色的機械強度、微小的熱膨脹系數(shù)以及經(jīng)濟高效的制造成本,，已成為電氣組件中常用的絕緣介質(zhì),。然而，氧化鋁陶瓷與金屬的直接焊接面臨諸多技術(shù)障礙,，因此,，需在其表層構(gòu)建一層金屬薄膜，即實施金屬化處理,。當前主流技術(shù)是通過在陶瓷表面燒結(jié)金屬薄膜以實現(xiàn)金屬化,，這一方法廣泛應(yīng)用于實踐中。

在陶瓷金屬化技術(shù)領(lǐng)域,，鉬錳法長期占據(jù)主導地位。但隨著技術(shù)迭代,，技術(shù)人員已開始探索采用成本更低的金屬鎢進行陶瓷金屬化,。從成本效益、電氣性能及機械強度等關(guān)鍵技術(shù)指標評估,，鎢金屬化工藝不僅與鉬錳法相媲美,，在某些特定陶瓷基片金屬化應(yīng)用中，其表現(xiàn)甚至超越傳統(tǒng)工藝,。

鎢金屬化工藝的核心環(huán)節(jié)在于鎢漿料的制備,。這一過程與太陽能銀漿的生產(chǎn)有相似之處，其中,，鎢漿的細度控制對最終燒結(jié)效果具有直接影響,。若細度不達標,，將嚴重損害燒結(jié)后陶瓷基片的成品率，導致元器件密封性,、燒結(jié)層粘附力及電路電氣性能等一系列質(zhì)量問題無法得到保障,。

一般來說，用于陶瓷金屬化的鎢漿粘度較高,，基本上都在80000Cps以上,；而要求的細度則在4um-5um。由于普通三輥機能夠最終達成的分散研磨細度都在10um以上,，所以需要采用高精度的三輥機來進行分散研磨,。以下例應(yīng)用案例來說，我們就采用了TRILOS公司的TR80A型三輥研磨機對粘度為85000Cps進行分散處理,。

首先在間隙模式下進行預混合作業(yè),，初始細度約為12um。設(shè)備前后間隙分別如下：

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